System zum Behandeln und zum Handhaben von Substraten für Flachdisplays
摘要
申请公布号
DE69504716(T2)
申请公布日期
1999.05.06
申请号
DE19956004716T
申请日期
1995.01.11
申请人
INTEVAC, INC., SANTA CLARA, CALIF., US
发明人
COAD, GEORGE L., LAFAYETTE, CALIFORNIA 94549, US;HUGHES, JOHN L., RODEO, CALIFORNIA 94572, US;LAWSON, ERIC C., SUUNYVALE, CALIFORNIA 94087, US;MATTHIAS, GEORGE, FREEMONT, CA 94536, US
