| 发明名称 | 具有膜片的传感器 | ||
| 摘要 | 一种具有膜片的传感器,在膜片上至少设置一个电阻元件(4)。膜片是用膜片层(10)制成的。后者由多层分层(11、12、13)构成。另外还有一个由多层分层(21、22)构成的覆盖层。膜片和覆盖层的各分层是这样选定的,既不论是膜片还是覆盖层都要将其调节到具有轻度的拉应力,最好是调节成具有大小大致相等的轻度拉应力。 | ||
| 申请公布号 | CN1215833A | 申请公布日期 | 1999.05.05 |
| 申请号 | CN98119428.1 | 申请日期 | 1998.10.05 |
| 申请人 | 罗伯特－博希股份公司 | 发明人 | C·特罗伊特勒;W·米勒;H·戈贝尔;S·施米德特;H·维伯;K·赫耶尔斯;H·F·科伯;W·斯泰纳 |
| 分类号 | G01F1/692 | 主分类号 | G01F1/692 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 马铁良;叶恺东 |
| 主权项 | 1．用硅制成的传感器(1)，特别是一个物料流量传感器，有一个膜片(3)，装在支架(2)上，其中的膜片(3)是由介电层(10,20)构成的，在膜片(3)上至少设有一个用金属薄膜制成的电阻元件(4,5)，其中有一层覆盖在一个电阻元件(4,5)以及膜片(3)的上表面上的覆盖层(20)，膜片(3)的介电层如此构成：调节产生轻度的拉应力，其特征在于：要使覆盖层(20)也有轻度的拉应力。 | ||
| 地址 | 联邦德国斯图加特 | ||