发明名称 半导体存储器件及其制造方法
摘要 高速/大容量DRAM(动态随机存取存储器)通常每0.1秒刷新一次,这是因为漏电流使其丢失存储的信息。DRAM在切断电源时也丢失存储的信息。同时,非易失ROM(只读存储器)不能构成为高速/大容量存储器。本发明的半导体存储器件,通过利用隧道绝缘体使起存储节点作用的漏与漏电流隔绝,实现了非易失特性,而且通过使存储单元增加读出用晶体管实现了稳定高速运行。
申请公布号 CN1215925A 申请公布日期 1999.05.05
申请号 CN98124682.6 申请日期 1998.10.07
申请人 株式会社日立制作所 发明人 角南英夫;伊藤清男;嶋田寿一;中里和郎;水田博
分类号 H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王永刚
主权项 1.一种半导体存储器件,包括:由形成在半导体衬底上的晶体管栅极构成的存储节点;具有半导体区和阻挡绝缘体的多层结构,所述结构与所述存储节点连接;其中,利用所述阻挡绝缘体进行电荷的写入和/或擦除。
地址 日本东京都