| 发明名称 |
ROTARY TABLE BALANCING DEVICE OF SEMICONDUCTOR WAFER DRYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR130861(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.01 |
| 申请号 |
KR19940015024 |
申请日期 |
1994.06.28 |
| 申请人 |
KIM, JUNG-DUK |
发明人 |
SUNG, HA-KYUNG;PARK, JUN-SANG |
| 分类号 |
B23Q11/00;(IPC1-7):B23Q11/00 |
主分类号 |
B23Q11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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