发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR167437(B1) 申请公布日期 1999.05.01
申请号 KR19980023314 申请日期 1998.06.22
申请人 HITACHI LTD. 发明人 MURAKAMI, GEN;TSUBOSAKI, KUNIHIRO;ICHITANI, MASAHIRO;NISHI, KUNIHIKO;ANJOH, ICHIRO;NISHIMURA, ASAO;KITANO, MAKOTO;YAGUCHI, AKIHIRO;KAWAI, SUEO;OGATA, MASATSUGU;EGUCHI, SYUUJI;KOKAKU, HIROYOSHI;SEKAWA, MASANORI;HOJOJI, HIROSHI;YOKOYAMA, TAKASHI;KINZO, NORIYUKI;KANEDA, AIZO;SAEKI, JUNICHI;NAKAMURA, SHOZO;HASEBE, AKIO;KIKUCHI, HIROSHI;YOSHIDA, ISAMU;YAMAJAKI, TAKASHI;OSHIMA, KAZUYOSHI;MATSUMOTO, TETSURO
分类号 H01L23/48;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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