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发明名称 VACUUM MEASUREMENT SYSTEM
摘要
申请公布号 KR172858(B1) 申请公布日期 1999.05.01
申请号 KR19960020644 申请日期 1996.06.10
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 YEUM, SI-CHUN
分类号 G01L21/00;(IPC1-7):G01L21/00 主分类号 G01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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