| 发明名称 |
VACUUM PROCESSING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121437(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970280859 |
申请日期 |
1997.10.14 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
IMAI YUJI;SHIROSAKI TOMOHIDE |
| 分类号 |
B03C3/02;B01J3/00;C23C14/00;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
B03C3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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