| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON CARBIDE WAFER AND SILICON CARBIDE WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121313(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970294842 |
申请日期 |
1997.10.13 |
| 申请人 |
MITSUI ENG & SHIPBUILD CO LTD;ADO MAP:KK |
发明人 |
KAWAMOTO SATOSHI |
| 分类号 |
C30B29/36;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C30B29/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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