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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11121517(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970276814 申请日期 1997.10.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI SHONAN DENSHI CO LTD 发明人 KITO SHIGEFUMI;NISHIYAMA SHINZO;SASAKI HIROYASU;MOGI TOSHIYUKI;OMORI NOBORU;TAKANO EIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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