发明名称 声表面波器件
摘要 一种声表面波器件,包括声表面波基片和设置在声表面波基片上、并包括层叠了钨层和铝层的层叠金属薄膜的叉指式换能器。
申请公布号 CN1215252A 申请公布日期 1999.04.28
申请号 CN98118518.5 申请日期 1998.08.28
申请人 株式会社村田制作所 发明人 米田年麿;门田道雄
分类号 H03H9/64 主分类号 H03H9/64
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 沈昭坤
主权项 1.一种声表面波器件,其特征在于包括:声表面波基片;及设置在声表面波基片上,并包括钨层和铝层的叉指式换能器。
地址 日本京都府