| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11114474(A) |
申请公布日期 |
1999.04.27 |
| 申请号 |
JP19970278714 |
申请日期 |
1997.10.13 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA TAKESHI;MORITA AKIHIKO;UENO KENJI |
| 分类号 |
G03F7/30;B05C11/08;B05C11/10;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
G03F7/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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