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发明名称 CONTACT PROBE
摘要
申请公布号 JPH11108954(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970271484 申请日期 1997.10.03
申请人 EEJINGU TESUTA KAIHATSU KYODO KUMIAI 发明人 MIZUNO YUJI;IGARASHI SEIZO
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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