| 发明名称 |
APPARATUS FOR EVALUATING CHARACTERISTICS OF MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11108875(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970309163 |
申请日期 |
1997.10.06 |
| 申请人 |
KEMITORONIKUSU:KK |
发明人 |
KISHINO MASATAKE;YOSHIDA HARUHIKO |
| 分类号 |
G01N27/60;G01N27/22;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/22 |
主分类号 |
G01N27/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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