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发明名称 POLISHING METHOD OF GALLIUMARSENIDE WAFER
摘要
申请公布号 JPH11111655(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970265245 申请日期 1997.09.30
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 AKIYAMA HIROKI
分类号 B24B1/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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