| 摘要 |
<p>Beschrieben werden ein vorzugsweise zur Gasanalyse und insbesondere zum Kohlendioxidnachweis bestimmter Sensor mit mindestens einer sensitives Metall enthaltenden Schicht sowie ein auf Laserablation beruhendes Verfahren. Um die Sensitivität des Metalloxidsensors zu erhöhen und so dessen Betrieb unterhalb von 300 °C und bei kleinerer Sensorfläche zu erhöhen, wird vorgeschlagen, daß das Metalloxid aus Nanopartikeln mit typischen Korngrößen zwischen vorzugsweise 3 und 30 Nanometern besteht. Ferner wird vorgeschlagen, daß mit Hilfe des genannten Verfahrens Nanopartikel erzeugt und in situ auf ein Substrat oder dergleichen aufgedampft werden.</p> |
