| 主权项 |
1.一种重叠准确度量测方法,用以量测在一第一图 案与一第二图案之间的重叠准确度,该第一图案与 该第二图案位于一基底上且均包括复数个标记,每 个在该第一图案上的该标记对应于任意该第二图 案上的该标记,该方法包括: 量测一第一重叠准确度,该量测方法系利用该第一 图案与该第二图案对应的该些标记的一直立映像 来量测; 量测一第二重叠准确度,该量测方法系利用该些对 应标记的一反转映像来量测; 个别得到该第一重叠准确度与该第二重叠准确度 的差値; 在至少一对应的该些标记处进行计算与平均步骤, 得到一平均値; 量测一第三重叠准确度,该量测方法系利用其他未 量测到之该些标记的一直立映像或一反转映像来 量测;以及 根据该平均値进行修正步骤,修正该第一重叠准确 度与该第三重叠准确度,或是修正该第二重叠准确 度与该第三重叠准确度。2.如申请专利范围第1项 所述之方法,其中量测该第一重叠准确度与该第二 重叠准确度的地方系在该基底上的任意点。3.一 种重叠准确度量测方法,用以量测在一第一图案与 一第二图案之间的重叠准确度,该第一图案形成于 一基底上,该第二图案形成于该第一图案上,且该 第一图案与该第二图案均包括复数个标记,每个在 该第一图案上的该标记对应于任意该第二图案上 的该标记,该方法包括: 量测一第一重叠准确度,该量测方法系利用彼此对 应的该第一图案与该第二图案该些标记之一参考 结合的一直立映像来量测; 量测一第二重叠准确度,该量测方法系利用该参考 结合的该些标记的一反转映像来量测; 个别得到该第一重叠准确度与该第二重叠准确度 的一差値; 计算该差値对应于该参考结合之该些标记处的一 标准差; 进行修正步骤,用以修正在该基底上之重叠准确度 的量测値; 根据标准差与修正値,计算结合了该第一图案与该 第二图案的一取样数; 量测一第三重叠准确度,该量测方法系利用该第一 图案与该第二图案对应的该些标记之一直立映像 来量测,且为该基底上该取样数的量测値; 量测一第四重叠准确度,该量测方法系利用该第一 图案与该第二图案对应的该些标记的一反转映像 来量测,且为该基底上该取样数的量测値; 量测一第五重叠准确度,该量测方法系利用该第一 图案与该第二图案对应的该些其他非取样数标记 的一直立映像或一反转映像来量测; 计算该第三重叠准确度与该第四重叠准确度在取 样点之一差値,并计算该差値的一平均値;以及 根据该平均値进行修正步骤,修正该第三重叠准确 度与该第五重叠准确度,或是修正该第四重叠准确 度与该第五重叠准确度。4.如申请专利范围第3项 所述之方法,其中量测该第三重叠准确度与该第四 重叠准确度的地方系在该基底上的任意点。5.如 申请专利范围第3项所述之方法,其中更包括下列 步骤: 进行储存步骤,用以将该差値的该标准差储存在一 资料库中;以及 进行读取步骤,当对应一第二量测基底时,从该资 料库中读取该标准差。6.一种重叠准确度量测之 装置,用以量测在一第一图案与一第二图案之间的 重叠准确度,该第一图案形成于一基底上,该第二 图案形成于该第一图案上,且该第一图案与该第二 图案均包括复数个标记,在该第一图案上的每个该 标记对应于任意该第二图案上的该标记,该装置包 括: 第一量测装置,用以量测一第一重叠准确度,该量 测方法系利用彼此对应的该第一图案与该第二图 案该些标记之一参考结合的一直立映像来量测; 第二量测装置,用以量测一第二重叠准确度,该量 测方法系利用该参考结合的该些标记之一反转映 像来量测; 差动装置,用以分别得到该第一重叠准确度与该第 二重叠准确度的一差値; 标准差计算装置,计算该差値对应于该参考结合之 该些标记处的标准差; 取样数计算装置,用以进行修正步骤,修正在该基 底上之重叠准确度的量测値,以及计算结合该第一 图案与该第二图案的一取样数; 第三量测装置,用以量测一第三重叠准确度,该量 测方法系在取样点,利用该第一图案与该第二图案 的该些标记之一直立映像来量测; 第四量测装置,用以量测一第四重叠准确度,该量 测方法系在取样点,利用该第一图案与该第二图案 的该些标记的一反转映像来量测; 第五量测装置,用以量测一第五重叠准确度,该量 测方法系利用该第一图案与该第二图案的该些其 他非取样数标记的一直立映像或一反转映像来量 测; 平均计算装置,用以计算该第三重叠准确度与该第 四重叠准确度在取样点的差値之一平均値;以及 修正装置,根据该平均値进行修正步骤,修正该第 三重叠准确度与该第五重叠准确度,或是修正该第 四重叠准确度与该第五重叠准确度。7.如申请专 利范围第6项所述之装置,更包括: 储存装置,用以将该差値的该标准差储存在一资料 库中;以及 读取装置,当对应一第二量测基底时,从该资料库 中读取该标准差。图式简单说明: 第一图a到第一图d,其所绘示根据本发明之一较佳 实施例,一种重叠准确度量测方法示意图; 第二图a到第二图d,其所绘示根据本发明之另一较 佳实施例,一种重叠准确度量测方法示意图; 第三图a和第三图b,其所绘示的是习知一种直立映 像与反转映像的示意图; 第四图,其所绘示根据本发明之一较佳实施例,一 种重叠准确度量测方法的方块图;以及 第五图a到第五图c,其所绘示的是习知一种量测图 案重叠准确方法示意图。 |
