Objective lens

摘要

Die Erfindung betrifft eine Objektivlinse zur Beeinflussung eines Korpuskularstrahls, insbesondere eines Elektronenstrahls mit einer magnetischen Einzelpollinse und einer elektrostatischen Linse, die eine erste und eine zweite Elektrode aufweist, die mit unterschiedlichen Potentialen beaufschlagbar sind. Die Objektivlinse ist dadurch gekennzeichnet, daß die elektrostatische Linse in Richtung des Korpuskularstrahls nach der magnetischen Einzelpollinse angeordnet ist. <IMAGE>