发明名称 |
METHOD OF FABRICATING CONTACTS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES |
摘要 |
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申请公布号 |
KR0182299(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.15 |
申请号 |
KR19930019633 |
申请日期 |
1993.09.24 |
申请人 |
AT&T BELL LABORATORIES |
发明人 |
GEVA, MICHAEL;KATZ, AVISHAY |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/223;H01L21/285;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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