发明名称 METHOD OF FABRICATING CONTACTS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR0182299(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19930019633 申请日期 1993.09.24
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 GEVA, MICHAEL;KATZ, AVISHAY
分类号 H01L21/28;H01L21/223;H01L21/285;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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