发明名称 DEVICE LOADING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0177004(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950068138 申请日期 1995.12.30
申请人 TAEYANG PREISION CO., LTD. 发明人 KIM, MOON-SIK
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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