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发明名称 APPARATUS FOR CONTINUOUSLY CONTROLLIING THE PEROXIDE AND AMMONIA CONCENTRATION IN A BATH
摘要
申请公布号 KR0185180(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950008023 申请日期 1995.04.07
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC. 发明人 HANSON, KARRIE J.;HIGASHI, GERGG S.;ROSAMILIA, JOSEPH M.
分类号 B08B3/08;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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