发明名称 REPAIR APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0186196(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950036665 申请日期 1995.10.23
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 PARK, JAE-HONG
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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