| 发明名称 |
Methods and apparatus for the in-process detection of workpieces |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2330200(A) |
申请公布日期 |
1999.04.14 |
| 申请号 |
GB19990000800 |
申请日期 |
1997.07.16 |
| 申请人 |
* SPEEDFAM CORPORATION |
发明人 |
ROBERT F * ALLEN;PAUL * HOLZAPFEL;ANTHONY L * BARTELS;WARREN * LIN |
| 分类号 |
B24B37/04;B24B49/04;B24B49/12;G05B19/401;G05B19/402;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):B24B49/04;G05B19/406 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
