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发明名称 EXPOSING OPTICAL SYSTEM, OPTICAL PROCESSING DEVICE, EXPOSING DEVICE, AND PHOTOCOUPLER
摘要
申请公布号 JPH1197340(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970272166 申请日期 1997.09.17
申请人 OMRON CORP 发明人 TAKEDA JIRO;TANAKA HIROKAZU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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