发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1197678(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
申请号 |
JP19970252122 |
申请日期 |
1997.09.17 |
申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAZATO MAYUMI;FUJITA KAZUNORI;NAGANO HIROTO;AKIZUKI MAKOTO;NAGASAWA HIDEJI |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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