| 发明名称 |
IC TEST DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1196794(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19980206766 |
申请日期 |
1998.07.22 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
WADA YUJI;FUKUDA KAORU;KAMIKO YOSHIO;MOCHIZUKI MASAAKI |
| 分类号 |
G01R31/28;G11C29/00;G11C29/44;H01L21/66;(IPC1-7):G11C29/00 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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