MICROSCOPE STAND FOR A WAFER INSPECTION MICROSCOPE

摘要

Es wird ein Inspektionsmikroskop für die Halbleiterindustrie beschrieben. Das Mikroskopstativ besteht aus einem Stativfuss (1), einer Stativsäule (4) und einem Querhaupt (5). Um eine ungehinderte Probenzufuhr von der Rückseite des Mikroskvpstativs zu ermöglichen, ist - in der Frontansicht - die Stativsäule (4) seitlich neben dem hinteren Ende des Stativfusses (1) sowie des darüber angeordneten Querhaupts (5) montiert. Damit kann das Mikroskopstativ raumsparend und ohne Adaptionsaufwand in Clustern im Prüfbereich der Halbleiterindustrie integriert und der Objekttisch (3) insbesondere direkt von hinten mit Prüfobjekten beschickt werden. In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform des Stativs eignet sich das Inspektionsmikroskop zur Untersuchung besonders grossflächiger Objekte (z.B. Flachbildschirmen oder 400-mm-Wafern).