Verfahren zur CVD-Beschichtung einer Mehrschichtstruktur in einer einzigen Kammer,申请号DE19936023716-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur CVD-Beschichtung einer Mehrschichtstruktur in einer einzigen Kammer
摘要
申请公布号	DE69323716(D1)	申请公布日期	1999.04.08
申请号	DE19936023716	申请日期	1993.12.24
申请人	APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US	发明人	LAW, KAM S., UNION CITY, CA 94587, US;ROBERTSON, ROBERT, PALO ALTO, CA 94301, US;LOU, PAMELA, SAN FRANCISCO, CA 94131, US;KOLLRACK, MARC MICHAEL, ALAMEDA, CA 95401, US;LEE, ANGELA, SUNNYVALE, CA 94086, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
分类号	H01L21/205;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/31;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/84	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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