| 发明名称 | 终点检测方法和装置 | ||
| 摘要 | 公开了金属熔丝结构以及形成该结构的方法。该方法包括从金属化层形成熔丝结构。在从金属化层形成的熔丝结构上面沉积HDP氧化物的底部氧化层。在底部氧化层上面沉积掺杂氧化层。在掺杂氧化层上面沉积顶部氧化层。通过顶部氧化层蚀刻。在开始蚀刻掺杂氧化层时,检测出放出的掺杂物质增加的含量。该方法进一步包括在检测出掺杂物质增加的含量时终止蚀刻。其中在从金属化层形成的熔丝结构上面至少保留底部氧化层。 | ||
| 申请公布号 | CN1213165A | 申请公布日期 | 1999.04.07 |
| 申请号 | CN98118428.6 | 申请日期 | 1998.08.14 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | 吉尔·Y·李 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1．一种在熔丝结构中形成引线通孔的方法，包括：从金属化层形成熔丝结构；在用金属化层形成的熔丝结构上面沉积底部氧化层；在底部氧化层上面沉积掺杂氧化层；在掺杂氧化层上面沉积顶部氧化层；蚀刻穿过顶部氧化层；当开始蚀刻掺杂氧化层时，检测出放出的掺杂物质增加的含量；以及在检测出掺杂物质增加的含量时终止蚀刻，使得在用金属化层形成的熔丝结构上面至少保留底部氧化层。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||