PLATING METHOD AND APPARATUS THEREFOR,申请号JP19970269300-传众专利搜索

发明名称	PLATING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH1193000(A)	申请公布日期	1999.04.06
申请号	JP19970269300	申请日期	1997.09.16
申请人	EBARA CORP	发明人	KURIYAMA FUMIO
分类号	C23C18/16;C25D5/00;C25D7/00;C25D17/00;C25D21/02;C25D21/04;H01L21/288;H05K3/18;(IPC1-7):C25D21/04	主分类号	C23C18/16
代理机构		代理人
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