发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0175025(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19950041257 申请日期 1995.11.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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