发明名称 METHOD OF MAKING A WIRING AND A CONTACT STRUCTURE OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0174069(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19950023919 申请日期 1995.08.03
申请人 NEC CORP. 发明人 KOYAMA, KUNIAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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