发明名称 |
SiC-based IGBT and MISFET with vertical channel and corresponding manufacturing method |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0904603(A2) |
申请公布日期 |
1999.03.31 |
申请号 |
EP19970915797 |
申请日期 |
1997.03.18 |
申请人 |
ABB RESEARCH LTD. |
发明人 |
HARRIS, CHRISTOPHER;KONSTANTINOV, ANDREI;JANZEN, ERIK |
分类号 |
H01L21/04;H01L29/24;H01L29/739;(IPC1-7):H01L29/24;H01L29/72;H01L29/78;H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|