发明名称 SiC-based IGBT and MISFET with vertical channel and corresponding manufacturing method
摘要
申请公布号 EP0904603(A2) 申请公布日期 1999.03.31
申请号 EP19970915797 申请日期 1997.03.18
申请人 ABB RESEARCH LTD. 发明人 HARRIS, CHRISTOPHER;KONSTANTINOV, ANDREI;JANZEN, ERIK
分类号 H01L21/04;H01L29/24;H01L29/739;(IPC1-7):H01L29/24;H01L29/72;H01L29/78;H01L21/20 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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