发明名称
摘要
申请公布号 JP2877800(B2) 申请公布日期 1999.03.31
申请号 JP19980077347 申请日期 1998.03.25
申请人 KYANON KK 发明人 OMI KAZUAKI;SAKAGUCHI KYOBUMI;YANAGIDA KAZUTAKA;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L27/12;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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