| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR FIXING AND PROTECTING SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0904598(A1) |
申请公布日期 |
1999.03.31 |
| 申请号 |
EP19980909293 |
申请日期 |
1998.01.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
MATHUNI, JOSEF |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/06;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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