发明名称 SEMICONDUCTOR APPARATUS HAVING OVERLAY MARK
摘要
申请公布号 KR0172557(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950004717 申请日期 1995.03.08
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 HWANG, JUN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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