发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH1187530(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970238303 申请日期 1997.09.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIYAKUNOU HIROYUKI
分类号 H01L21/8238;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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