发明名称 PLATING TO SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1187276(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970267973 申请日期 1997.09.12
申请人 EBARA CORP 发明人 KATO TAKAO
分类号 C25D5/34;C23F1/00;C25D7/00;H01L21/288;H05K3/18;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 C25D5/34
代理机构 代理人
主权项
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