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发明名称 WAFER CLEANING APPARATUS HAVING AN AGITATOR
摘要
申请公布号 KR0170214(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950065736 申请日期 1995.12.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, KYUNG-SUK;LEE, JOON-KYU
分类号 B05B3/14;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B05B3/14
代理机构 代理人
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