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发明名称 OXIDE FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 KR0172045(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950065641 申请日期 1995.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 WOO, SANG-HO;KIM, JAE-OK
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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