| 发明名称 |
SPUTTERING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0171108(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
KR19950058234 |
申请日期 |
1995.12.27 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
WEE, SUNG-EUN |
| 分类号 |
H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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