| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD OF OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1180955(A) |
申请公布日期 |
1999.03.26 |
| 申请号 |
JP19970247113 |
申请日期 |
1997.09.11 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
KUNO TADAAKI;HASEGAWA KAZUMASA;MIYASHITA SATORU |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/04 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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