发明名称 Trocken-Behandlungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69032952(D1) 申请公布日期 1999.03.25
申请号 DE19906032952 申请日期 1990.11.14
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KINOSHITA, HARUHISA, HAMAMATSU, SHIZUOKA, JP 发明人 KINOSHITA, HARUHISA, SHIZUOKA-KEN, JP;MATSUMOTO, OSAMU, AKISHIMA-SHI, TOKYO, JP;SAKUMA, HARUNOBU, NISHITAMA-GUN, TOKYO, JP
分类号 C23C16/509;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
主权项
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