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经营范围
发明名称
Trocken-Behandlungsvorrichtung
摘要
申请公布号
DE69032952(D1)
申请公布日期
1999.03.25
申请号
DE19906032952
申请日期
1990.11.14
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP;KINOSHITA, HARUHISA, HAMAMATSU, SHIZUOKA, JP
发明人
KINOSHITA, HARUHISA, SHIZUOKA-KEN, JP;MATSUMOTO, OSAMU, AKISHIMA-SHI, TOKYO, JP;SAKUMA, HARUNOBU, NISHITAMA-GUN, TOKYO, JP
分类号
C23C16/509;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
C23C16/509
代理机构
代理人
主权项
地址
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