| 发明名称 |
CLOSED TYPE CLEANING DEVICE AND CLEANING OF PRECISION SUBSTRATE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1176962(A) |
申请公布日期 |
1999.03.23 |
| 申请号 |
JP19970252750 |
申请日期 |
1997.09.02 |
| 申请人 |
PURETETSUKU:KK;URUTORA CLEAN TECHNOL KAIHATSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
SADAKANE KOJI;NITTA TAKEHISA |
| 分类号 |
B08B3/02;B08B3/12;F04F7/00;(IPC1-7):B08B3/12 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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