发明名称 PRODUCTION OF INDIUM OXIDE POWDER FOR ITO TARGET
摘要
申请公布号 JPH1179745(A) 申请公布日期 1999.03.23
申请号 JP19970239618 申请日期 1997.09.04
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP 发明人 MOCHIDA HIROMI;TANAKA MICHIHIRO;KIMURA MASANORI
分类号 C01G15/00;C23C14/34;(IPC1-7):C01G15/00 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
主权项
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