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发明名称
COATING SYSTEM OF SEMICONDUCTOR PHOTORESIST
摘要
申请公布号
KR0135804(Y1)
申请公布日期
1999.03.20
申请号
KR19960001967U
申请日期
1996.02.08
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, KYU-MYUNG;KANG, SOO-MI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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