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发明名称 Chemische Reinigung durch partielle Kondensation für die Halbleiterherstellung
摘要
申请公布号 DE69416359(D1) 申请公布日期 1999.03.18
申请号 DE1994616359 申请日期 1994.08.16
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, PARIS, FR 发明人 LI, YAO-EN, BUFFALO GROVE, ILLINOIS 60089, US;RIZOS, JOHN, FRANKFORT, ILLINOIS 60423, US
分类号 B01D3/06;B01D5/00;C01B7/07;C01B21/083;C01C1/02;F25J3/06;F25J3/08;H01L21/308;(IPC1-7):B01D8/00 主分类号 B01D3/06
代理机构 代理人
主权项
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