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发明名称
摘要
申请公布号 JP2870472(B2) 申请公布日期 1999.03.17
申请号 JP19960053047 申请日期 1996.03.11
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SAWADA MASAMI
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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