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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1174344(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19980178739 申请日期 1998.06.25
申请人 SIEMENS AG 发明人 ARNOLD NORBERT
分类号 H01L21/76;H01L21/318;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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