| 发明名称 |
SPUTTERING SOURCE OF SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1171668(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19970234648 |
申请日期 |
1997.08.29 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/34;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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