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发明名称 EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH1174183(A) 申请公布日期 1999.03.16
申请号 JP19970245989 申请日期 1997.08.28
申请人 CANON INC 发明人 KIKUCHI KAZUYA
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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